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国家高技术研究发展计划(2009AA04Z148)
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13
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张鸣
朱煜
罗欣
段广洪
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张鸣
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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罗欣
供职机构:华中科技大学
研究主题:机器人 超精密 光刻机 四足机器人 减振器
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胡金春
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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段广洪
供职机构:清华大学深圳研究生院
研究主题:光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
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蔡田
供职机构:清华大学
研究主题:平面电机 磁悬浮 充磁 光刻机 工位
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闵伟
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 套刻精度 直线电机
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李广
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 微动台 传感器 光纤传感器 光纤
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崔汉国
供职机构:中国人民解放军海军工程大学船舶与动力学院
研究主题:虚拟现实 虚拟环境 网格生成 反求工程 点集
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李小平
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 编织袋 移动机器人 包装机 浸液
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