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国家高技术研究发展计划(2005AA404260)
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汪学方
甘志银
张鸿海
刘胜
王成刚
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汪学方
供职机构:华中科技大学
研究主题:真空封装 微机电系统 刻蚀 键合 硅
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刘胜
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 MEMS 封装 键合 真空封装
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张鸿海
供职机构:华中科技大学
研究主题:微机电系统 真空封装 宽范围 扫描探针显微镜 MEMS
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甘志银
供职机构:华中科技大学机械科学与工程学院
研究主题:真空封装 微机电系统 MOCVD 阳极键合 MEMS
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王成刚
供职机构:武汉工程大学
研究主题:脉动流 法兰 换热器 强化传热 垫片
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林栋
供职机构:华中科技大学
研究主题:真空封装 MEMS 阳极键合 MEMS器件 真空
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卢霞
供职机构:武汉工程大学
研究主题:有限元法 排砂 射流 ANSYS 过程装备与控制工程
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艾叶
供职机构:华中科技大学
研究主题:角速度 技术工艺 结构层 流体检测 微加工
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喻九阳
供职机构:武汉工程大学
研究主题:脉动流 换热器 强化传热 高温 振打
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杨侠
供职机构:武汉工程大学机电工程学院
研究主题:数值模拟 强化传热 撞击流反应器 换热器 撞击流
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