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国家科技重大专项(2008ZX02104)
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张辉
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张辉
供职机构:西安理工大学艺术与设计学院
研究主题:关节镜 膝关节 前交叉韧带 直流微电网 关节镜检查
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叶佩青
供职机构:清华大学
研究主题:数控系统 直线电机 数控机床 多叶光栅 数控加工
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门延武
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 压力源 晶圆 半导体制造技术
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周凯
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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沈攀
供职机构:清华大学
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