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国家自然科学基金(60727003)

作品数：8 被引量：27H指数：3
相关作者：李超波夏洋汪明刚刘邦武刘杰更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所昆明理工大学中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术自动化与计算机技术理学更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

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共 24 条 记 录，以下是 1-10
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪明刚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 等离子体浸没离子注入 离子注入 离子 浸没
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘邦武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨威风
供职机构：中国电子科技集团公司第十六研究所
研究主题：超浅结 发光二极管 感应耦合等离子体 GAN外延生长 内量子效率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 半导体制造技术 基片 化学吸附 前驱体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗小晨
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 等离子体 等离子体浸没离子注入 等离子喷涂 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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