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国家自然科学基金(40674098)
作品数:
4
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相关作者:
巩岩
张巍
赵阳
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巩岩
供职机构:中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 投影物镜 显微物镜 光学设计
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李顺
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:X射线光学 掠入射 筒状 掠射 光学设计
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张巍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:镜框 光学元件 投影光刻物镜 像差 投影物镜
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赵阳
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学系统 投影物镜 微振动 柔性铰链 装调
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