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上海市自然科学基金(05ZR14015)
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周嘉
王锡明
王军军
是慧芳
吕尊实
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周嘉
供职机构:复旦大学
研究主题:液滴 电极 流控技术 MEMS 极板
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王锡明
供职机构:合肥学院机械工程系
研究主题:残余应力 微结构 微机电系统
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郭育林
供职机构:复旦大学
研究主题:微悬臂梁 硅 光致 形变 AL
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王军军
供职机构:复旦大学
研究主题:残余应力 微结构 微机电系统
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程正喜
供职机构:中国科学院上海技术物理研究所
研究主题:衬底 偏转 探测器 镜面 神经元
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吕尊实
供职机构:复旦大学
研究主题:微电极阵列 电镀 微电极 互连线 组装式
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黄宜平
供职机构:复旦大学
研究主题:MEMS 传感器 气体传感器 SOI 硅
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是慧芳
供职机构:中国科学院上海技术物理研究所
研究主题:微加工 微电极阵列 PDMS 聚二甲基硅氧烷 电镀
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