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中国博士后科学基金(20090460727)
作品数:
1
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付绍军
洪义麟
刘颖
徐向东
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刘颖
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射光栅 全息光刻
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付绍军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
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徐向东
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻
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盛斌
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:真空紫外 掩模 单晶硅 闪耀光栅 IR
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洪义麟
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
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