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辽宁省自然科学基金(20082169)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：崔岩王立鼎张吕权夏劲松更多>>
相关机构：大连理工大学更多>>
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领域

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主题

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  • 2个氮化硅
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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 3个辽宁省
  • 1个北京市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
夏劲松
供职机构：大连理工大学
研究主题：干法刻蚀 硅尖 湿法腐蚀 各向异性腐蚀 压电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔岩
供职机构：大连理工大学
研究主题：PZT薄膜 大气光学 天空 微力传感器 压电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张吕权
供职机构：大连理工大学
研究主题：压电 压电薄膜 干法刻蚀 纳米压印 纳米硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王立鼎
供职机构：北京四方继保自动化股份有限公司
研究主题：微流控芯片 微机电系统 精密齿轮 精密加工技术 齿轮
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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