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国家自然科学基金(60628403)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
张卫
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董琳
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 高介电常数 密度泛函理论 GAAS ZNO薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙清清
供职机构：复旦大学
研究主题：电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁士进
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施煜
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 高K栅介质 密度泛函理论 砷化镓 C-V特性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘晗
供职机构：复旦大学
研究主题：纳米线 原子层淀积 存储器 MOS晶体管 半导体纳米线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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