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教育部科学技术研究重点项目(108052)

作品数：1 被引量：0H指数：0
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机构

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地区

  • 6个上海市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
张卫
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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黄玥
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题：AL 原子层淀积 MOS HFO 氧化层厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙清清
供职机构：复旦大学
研究主题：电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁士进
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苟鸿雁
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 纳米晶 叠层结构 高介电常数 俘获
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖忠伟
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题：原子层淀积 MOS结构 AL 高介电常数 非易失性存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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