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国家重点基础研究发展计划(51363Z04)
作品数:
2
被引量:7
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相关作者:
毛世平
解群眺
薛守迪
杨成韬
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相关机构:
电子科技大学
中国电子科技集团第二十六研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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薛守迪
供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
研究主题:XRD ZNO薄膜结构 XPS 退火温度 退火
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供职机构
所获资助
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毛世平
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所
研究主题:XRD ZNO薄膜结构 XPS 退火温度 退火
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解群眺
供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
研究主题:XRD 退火 COFE ZNO薄膜结构 XPS
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杨成韬
供职机构:电子科技大学
研究主题:PZT 铁电薄膜 射频磁控溅射 ALN薄膜 压电薄膜
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