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国家高技术研究发展计划(2007AA04Z323)

作品数：2 被引量：10H指数：2
相关作者：陈大鹏欧文明安杰刘战峰王玮冰更多>>
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领域

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地区

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共 8 条 记 录，以下是 1-8
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘战峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：衬底 半导体器件 悬臂梁 沟道 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧毅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦斌斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：平面阵列 非制冷红外成像 焦平面阵列 芯片 红外成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王玮冰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS 自测试 压阻传感器 红外光源 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧文
供职机构：中北大学
研究主题：热电堆 MEMS 红外 热电偶 工区
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
明安杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS 红外光源 图形化 金属电极 光开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘瑞文
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：芯片 非制冷红外成像 平面阵列 红外成像 散热
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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