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国家自然科学基金(60476032)
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周嘉
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周嘉
供职机构:复旦大学
研究主题:液滴 电极 流控技术 MEMS 极板
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黄宜平
供职机构:复旦大学
研究主题:MEMS 传感器 气体传感器 SOI 硅
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郭育林
供职机构:复旦大学
研究主题:微悬臂梁 硅 光致 形变 AL
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程正喜
供职机构:中国科学院上海技术物理研究所
研究主题:衬底 偏转 探测器 镜面 神经元
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鲍敏杭
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
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许谷城
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 光致 形变 微悬臂梁
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王锡明
供职机构:合肥学院机械工程系
研究主题:残余应力 微结构 微机电系统
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黄维宁
供职机构:复旦大学
研究主题:铁电薄膜 铁电存储器 固相反应 铁电电容 MFIS
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唐颐
供职机构:复旦大学
研究主题:沸石 纳米沸石 分子筛 催化剂 氧化硅
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杨涓涓
供职机构:复旦大学
研究主题:传感器 神经毒气 气敏传感器 沸石分子筛 QCM
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