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国家自然科学基金(10377009)
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丁桂甫
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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张永华
供职机构:华东师范大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 牺牲层 双稳态 光刻胶
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姜政
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 双稳态 光刻胶 微机电系统 微加工
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蒋振新
供职机构:上海交通大学
研究主题:特征阻抗 共面波导 导体损耗 微机电系统 插入损耗
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汪红
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研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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杨春生
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研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 形状记忆合金 微驱动器
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张东梅
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS器件 微机电系统 共晶键合 气密性封装 MEMS
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李永海
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 传质过程 LIGA技术 微电铸 牺牲层技术
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张丹
供职机构:上海交通大学电子信息与电气工程学院
研究主题:微机电系统 MEMS 光纤连接器 风力发电 分布式电源
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