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国家自然科学基金(69906005)

作品数：6 被引量：5H指数：1
相关作者：林成鲁沈勤我张苗安正华多新中更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院上海冶金研究所香港城市大学更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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地区

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共 13 条 记 录，以下是 1-10
林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
安正华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：绝缘层上硅 衬底材料 锗硅 氮化铝 绝缘埋层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈勤我
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张苗
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
门传玲
供职机构：上海理工大学能源与动力工程学院
研究主题：碳纳米管 超级电容器 太阳能电池 ALN薄膜 石墨烯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王连卫
供职机构：华东师范大学
研究主题：微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴雁军
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI 吸杂 ALN薄膜 绝缘层上硅 离子束增强沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱剑豪
供职机构：香港城市大学
研究主题：离子注入 表面改性 材料表面改性 放电 内表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫丽
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫丽
供职机构：中国科学院
研究主题：SOI材料 多孔硅 绝缘体 HF SOI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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