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中国科学院科研装备研制项目(YZ200755)

作品数：4 被引量：15H指数：3
相关作者：夏洋李超波刘邦武秦威李勇滔更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所昆明理工大学嘉兴科民电子设备技术有限公司更多>>
发文基金：中国科学院科研装备研制项目国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

领域

  • 14个电子电信
  • 9个化学工程
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  • 9个一般工业技术
  • 9个理学
  • 8个电气工程
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  • 3个农业科学
  • 3个文化科学
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  • 1个水利工程
  • 1个医药卫生

主题

  • 12个等离子体
  • 9个电池
  • 9个电流
  • 9个电路
  • 9个信号
  • 9个原子层沉积
  • 8个单晶
  • 7个氮化
  • 7个氮化铝
  • 7个氮化镓
  • 7个电容
  • 6个等离子
  • 6个等离子体浸没...
  • 6个等离子体增强
  • 6个氧化锌
  • 5个氮化铝薄膜
  • 5个氮化碳
  • 5个氮化碳薄膜
  • 5个氮化镓薄膜
  • 5个氮气

机构

  • 13个中国科学院微...
  • 5个浙江大学
  • 5个嘉兴科民电子...
  • 4个中国科学院
  • 2个北京科技大学
  • 2个兰州大学
  • 2个昆明理工大学
  • 2个中国科学技术...
  • 2个中国科学院嘉...
  • 1个山东科技大学

资助

  • 15个中国科学院科...
  • 14个国家自然科学...
  • 13个国家科技重大...
  • 7个国家高技术研...
  • 7个中国博士后科...
  • 5个国家重点基础...
  • 5个中国科学院知...
  • 2个教育部科学技...
  • 2个中国科学院知...
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  • 1个国家科技支撑...
  • 1个山东省优秀中...
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  • 1个云南省自然科...
  • 1个北京市科技计...
  • 1个北京市教委科...
  • 1个甘肃省科技重...
  • 1个甘肃省科技支...

传媒

  • 12个半导体技术
  • 8个微纳电子技术
  • 7个现代电子技术
  • 6个物理学报
  • 6个固体电子学研...
  • 6个真空科学与技...
  • 6个传感器与微系...
  • 5个激光与光电子...
  • 4个北京科技大学...
  • 4个太阳能学报
  • 4个电子工艺技术
  • 4个无机材料学报
  • 4个功能材料
  • 4个发光学报
  • 4个仪表技术与传...
  • 3个Journa...
  • 3个金属热处理
  • 3个材料保护
  • 3个光电工程
  • 3个微电子学

地区

  • 13个北京市
  • 1个云南省
  • 1个甘肃省
共 15 条 记 录，以下是 1-10
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘邦武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘肃
供职机构：兰州大学
研究主题：静电感应器件 SITH 静电感应晶闸管 单晶 CMOS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 半导体制造技术 基片 含氮 化学吸附
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许晓平
供职机构：昆明理工大学信息工程与自动化学院
研究主题：光纤BRAGG光栅 光纤BRAGG 光栅 油浸式变压器 光电子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
饶志鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 原子层沉积 含氮 化学吸附 含碳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
万军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 含氮 原子层沉积 化学吸附 含碳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李英杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：阻抗匹配网络 E类 全固态 全反射 射频电源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方攸同
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体增强 原子层沉积 原位掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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