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国家科技重大专项(2009ZX02039-005)

作品数：4 被引量：8H指数：1
相关作者：赵鸿滨杜军屠海令张心强杨萌萌更多>>
相关机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 8个电子电信
  • 8个一般工业技术
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  • 5个金属学及工艺
  • 5个电气工程
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  • 1个农业科学
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主题

  • 8个栅介质
  • 8个退火
  • 7个电性能
  • 7个堆栈
  • 7个栅介质薄膜
  • 7个快速退火
  • 6个性能研究
  • 6个氧化物
  • 5个单晶
  • 5个电池
  • 5个气相
  • 5个气相沉积
  • 5个气相沉积法
  • 4个单晶薄膜
  • 4个氮化
  • 4个底电极
  • 4个电激活
  • 4个电极
  • 4个电极材料
  • 4个制备及性能

机构

  • 8个北京有色金属...
  • 1个北京航空航天...
  • 1个清华大学
  • 1个西北工业大学
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  • 1个有色金属研究...

资助

  • 8个国家自然科学...
  • 8个国家科技重大...
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  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
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传媒

  • 8个稀有金属
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  • 4个中国稀土学报
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  • 3个电源技术
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  • 2个科学通报
  • 2个硅酸盐学报
  • 2个中国激光
  • 2个核技术

地区

  • 8个北京市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
杜军
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：吸气剂 玻璃陶瓷 介电性能 钛酸锶钡 吸气
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵鸿滨
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：存储器 底电极 衬底 电极 稀土氧化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张心强
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：吸气剂 PECVD 吸气性能 脉冲激光沉积 性能研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屠海令
供职机构：国家工程研究中心
研究主题：硅 单晶 硅单晶 存储器 底电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨萌萌
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：HFO HFO2 掺杂 CEO2 电学特性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨志民
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：吸气剂 介电性能 钨 底电极 钛酸锶钡
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭亿文
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：AL2O3 钝化 电学性能 掺杂 HFO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊玉华
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：吸气剂 细化剂 晶粒组织 K4169高温合金 计算机模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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