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国家自然科学基金(61205102)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：王向朝汪凯巍李思坤更多>>
相关机构：中国科学院大学浙江大学中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

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地区

  • 2个上海市
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共 3 条 记 录，以下是 1-3
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪凯巍
供职机构：浙江大学
研究主题：干涉仪 光栅 军事领域 相机 微位移传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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