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国家高技术研究发展计划(2005AA1Z2030)

作品数：2 被引量：26H指数：2
相关作者：王光玉刘坤巴德纯常学森张振厚更多>>
相关机构：东北大学中国科学院更多>>
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领域

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主题

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  • 3个氮化硅薄膜
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  • 3个压缩机
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机构

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  • 1个辽宁工学院
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资助

  • 7个国家高技术研...
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传媒

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  • 2个物理学报
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  • 2个功能材料
  • 2个中国冶金教育

地区

  • 5个辽宁省
共 7 条 记 录，以下是 1-7
王光玉
供职机构：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题：真空泵 干式真空泵 轴封 泵用 轴承腔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张振厚
供职机构：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题：真空泵 泵用 轴封 干式真空泵 罗茨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
巴德纯
供职机构：东北大学机械工程与自动化学院
研究主题：磁控溅射 真空 故障诊断 抽气 干泵
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘坤
供职机构：辽宁科技大学
研究主题：数值模拟 干泵 氧枪 高真空 炉外精炼
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
常学森
供职机构：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心
研究主题：亲水性 干泵 干式真空泵 高真空 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金璐
供职机构：东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心
研究主题：型线设计 动画编程 啮合原理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨乃恒
供职机构：东北大学机械工程与自动化学院
研究主题：真空泵 抽气 分子泵 高真空 涡轮分子泵
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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