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国家高技术研究发展计划(804-9-2)
作品数:
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洪义麟
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傅绍军
王占山
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徐向东
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻
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洪义麟
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
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刘颖
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射光栅 全息光刻
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王占山
供职机构:同济大学
研究主题:多层膜 极紫外 软X射线 反射率 薄膜光学
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傅绍军
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:离子束刻蚀 软X射线 全息光刻 衍射光栅 光刻胶
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付绍军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
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邱克强
供职机构:沈阳工业大学材料科学与工程学院
研究主题:非晶合金 力学性能 光栅 合金 离子束刻蚀
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