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国家自然科学基金(51105060)
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柯学
李经民
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刘冲
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大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室
研究主题:化学机械抛光 表面粗糙度 硅片 数值模拟 微电铸
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大连理工大学机械工程学院微纳米技术及系统辽宁省重点实验室
研究主题:微流控芯片 微电铸 机器视觉 齿轮 无线传感器网络
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