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国家自然科学基金(50275017)
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刘健
段振云
吴宏基
郑鹏
付景顺
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沈阳工业大学
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大连理工大学机械工程学院
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大连理工大学机械工程学院精密与特种加工教育部重点实验室
研究主题:化学机械抛光 表面粗糙度 硅片 数值模拟 微电铸
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