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北京市自然科学基金(4123096)

作品数:5 被引量:2H指数:1
相关作者:戴澜胡晓宇黑勇陈铖颖刘旭东更多>>
相关机构:北方工业大学中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

机构类别

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北方工业大学
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研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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