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国家科技重大专项(2013ZX03004007-004)

作品数：3 被引量：11H指数：2
相关作者：吴斌罗惠文尉志伟叶甜春王希朝更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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