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国家自然科学基金(90607022)
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刘明
龙世兵
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
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兰州大学物理科学与技术学院微电子学研究所
研究主题:有机场效应晶体管 静电感应晶体管 I-V特性 AFM 聚酰亚胺
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