国家自然科学基金(10376010)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：陈庆川苏志伟更多>>
- 相关机构：中国核工业集团公司更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学核科学技术更多>>
- 10cm×30cm矩形射频离子束源的研制被引量：3
- 2006年
- 本文介绍了射频(Radiofrequency,RF)感应耦合等离子体(Inductivecoupleplasma,ICP)离子束源的设计研究。该射频离子束源可工作于Ar,在使用四栅引出系统时,可获得100—1000eV的离子束。当射频功率为900W,在Ar为工作气体时,束流可达到600mA。在束流为120mA时,距源26cm处,在主轴方向27cm的范围内不均匀性小于±6%。该离子束源可作为大面积离子束刻蚀、离子束抛光等的离子束源。
- 苏志伟陈庆川韩大凯
- 关键词：电感耦合等离子体离子束刻蚀
- 矩形射频ICP离子束源天线设计
- 2007年
- 为了更好地提高引出离子束的均匀性,对离子束刻蚀用矩形射频电感耦合等离子体(ICP)离子束源提出了三种线圈的设计方法,并对这三种线圈激发的电场进行了数值计算和比较。结果表明,直线段式不等距天线和并联多螺旋不等距天线线圈能够产生均匀性良好的电场,且其耦合效率高。
- 苏志伟陈庆川韩大凯
- 关键词：电感耦合等离子体天线
