于新峰
作品数: 17被引量:30H指数:4
  • 所属机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 所在地区:吉林省 长春市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家科技重大专项

相关作者

倪明阳
作品数:122被引量:81H指数:6
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 镜框 投影物镜 光刻物镜
杨怀江
作品数:427被引量:634H指数:13
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 投影物镜 光学检测
张巍
作品数:110被引量:130H指数:7
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:镜框 光学元件 投影光刻物镜 像差 投影物镜
彭海峰
作品数:29被引量:39H指数:5
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 轴向 像差 支撑结构
隋永新
作品数:441被引量:587H指数:13
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 光学检测 光学加工