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张巍
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- 所属机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 所在地区:吉林省 长春市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 倪明阳
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- 作品数:122被引量:81H指数:6
- 供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 研究主题:光学元件 投影光刻物镜 镜框 投影物镜 光刻物镜
- 隋永新
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- 杨怀江
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- 赵磊
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- 供职机构:大连理工大学
- 研究主题:光学元件 镜框 投影光刻物镜 像差 微动