罗腾蛟
作品数: 7被引量:2H指数:1
  • 所属机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

王国荃
作品数:6被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 机加工 微细化 光栅扫描
徐志如
作品数:3被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:电子束曝光机 CAD 掩模 机加工 微细加工
陈福余
作品数:3被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:电子束曝光机 CAD 掩模 机加工 微细加工
李忠涛
作品数:2被引量:1H指数:1
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:机加工 微细化 电子束曝光 微细加工 电子束曝光机
杨峥嵘
作品数:12被引量:3H指数:1
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:集成电路 GDL 计算机 CAD 自动生成技术