-
徐志如
-
-
- 所属机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 陈福余
- 作品数:3被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:电子束曝光机 CAD 掩模 机加工 微细加工
- 罗腾蛟
- 作品数:7被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 机加工 微细化 掩膜版
- 王国荃
- 作品数:6被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 机加工 微细化 光栅扫描
- 李忠涛
- 作品数:2被引量:1H指数:1
- 供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
- 研究主题:机加工 微细化 电子束曝光 微细加工 电子束曝光机