2024年11月8日
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张良
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
蒋明霞
东南大学电子科学与工程学院微电...
葛宇昊
东南大学电子科学与工程学院微电...
李伟华
东南大学电子科学与工程学院微电...
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葛宇昊
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:电阻抗断层成像 电阻率 气流传感器 传感 MEMS传感器
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供职机构
所获资助
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蒋明霞
供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题:MEMS 单片机 C8051F020 C8051F ADΜC812
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李伟华
供职机构:东南大学
研究主题:MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
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