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李亚文

作品数：2 被引量：5H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室更多>>
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朱效立
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈军宁
供职机构：安徽大学
研究主题：反相器 灵敏放大器 电路 SRAM 裕度
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贾佳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：位相 透明介质 波带片 菲涅耳 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 光刻 存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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