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全海洋
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供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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理学
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合作作者
侯溪
中国科学院光电技术研究所
刘俊伯
中国科学院光电技术研究所
胡松
中国科学院光电技术研究所
李声
中国科学院光电技术研究所
徐富超
中国科学院光电技术研究所
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侯溪
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 干涉仪 光学元件 标准镜头 光学测量
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刘俊伯
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
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李声
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学元件 摄像系统 微量天平 光电技术 照明光源
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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徐富超
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 移相 干涉仪 光学元件 平移
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王建
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束 镜片 动镜 投影光刻机 波像差
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吴高峰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 光学元件 计算全息 非球面 干涉仪
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付韬韬
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学元件 离子束 面形 大口径光学元件 工件夹具
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伍凡
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:干涉仪 面形 光学元件 非球面 球面
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朱咸昌
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 微透镜阵列 大视场 焦距 投影物镜
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