2025年1月15日
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方照蕊
作品数:
2
被引量:20
H指数:2
供职机构:
广东工业大学机电工程学院
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发文基金:
国家教育部博士点基金
国家自然科学基金
广东省自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
邹微波
广东工业大学机电工程学院
魏昕
广东工业大学机电工程学院
杨向东
广东工业大学机电工程学院
谢小柱
广东工业大学机电工程学院
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杨向东
供职机构:广东工业大学
研究主题:化学机械抛光 材料去除率 CMP 沟槽 抛光垫
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魏昕
供职机构:广东工业大学机电工程学院
研究主题:激光 激光技术 化学机械抛光 微热管 蓝宝石
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
邹微波
供职机构:广东工业大学机电工程学院
研究主题:化学机械抛光 材料去除率 CMP 抛光液 沟槽
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
谢小柱
供职机构:广东工业大学
研究主题:激光 微热管 激光技术 激光加工 蓝宝石
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