2025年2月7日
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袁烽
作品数:
2
被引量:8
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
欧文
中国科学院微电子研究所
欧毅
中国科学院微电子研究所
薛晨阳
中北大学信息与通信工程学院仪器...
李志刚
中国科学院微电子研究所
闫建华
中国科学院微电子研究所
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欧文
供职机构:中北大学
研究主题:热电堆 MEMS 红外 热电偶 工区
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欧毅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
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明安杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 红外光源 图形化 金属电极 光开关
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薛晨阳
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 电极 水听器 心音
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夏燕
供职机构:中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室
研究主题:MEMS 红外 热电堆 兼容性 CMOS工艺兼容
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闫建华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微透镜阵列 红外焦平面阵列 光敏 填充因子 红外焦平面
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赵利俊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 红外 热电堆 兼容性 标准单元库
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李志刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属 冗余 淀积 集成电路版图 版图设计
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