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王冠军
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3
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中国科学技术大学
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合作作者
霍同林
中国科学技术大学核科学技术学院...
郑津津
中国科学技术大学工程科学学院精...
周洪军
中国科学技术大学核科学技术学院...
邱克强
中国科学技术大学核科学技术学院...
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郑津津
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:接近式光刻 高次谐波 英文 曲面重构 三维重建
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周洪军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:多层膜 真空紫外 光束线 磁控溅射 软X射线
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霍同林
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:多层膜 真空紫外 软X射线 磁控溅射 光束线
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邱克强
供职机构:沈阳工业大学材料科学与工程学院
研究主题:非晶合金 力学性能 光栅 合金 离子束刻蚀
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