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胡大伟
作品数:
3
被引量:13
H指数:1
供职机构:
北京理工大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家科技重大专项
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相关领域:
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合作作者
李艳秋
北京理工大学光电学院光电成像技...
刘晓林
北京理工大学光电学院光电成像技...
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刘晓林
供职机构:北京理工大学
研究主题:光学系统 数值孔径 面形误差 投影光刻物镜 光学设计
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李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
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