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胡大伟

作品数:3 被引量:13H指数:1
供职机构:北京理工大学更多>>
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刘晓林
供职机构:北京理工大学
研究主题:光学系统 数值孔径 面形误差 投影光刻物镜 光学设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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