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徐铭

作品数:7 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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相关领域:自动化与计算机技术更多>>

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姚邵康
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片 塑性形变 透镜 键合 制作方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐德辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马颖蕾
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弹性梁 硅 键合工艺 透镜 塑性形变
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴国强
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 磁场传感器 感应电动势 干法刻蚀 温度影响
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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