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杨光华

作品数：3 被引量：11H指数：1
供职机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

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共 2 条 记 录，以下是 1-2
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘菲
供职机构：北京理工大学
研究主题：极紫外光刻 紫外光刻 投影物镜 光阑 设计方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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