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张立国
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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合作作者
范亚明
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
张宝顺
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
鞠涛
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
张泽洪
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
李哲
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
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范亚明
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:MOCVD GAN 衬底 CVD设备 工件
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张宝顺
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:二维电子气 电极 HEMT器件 衬底 半导体
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鞠涛
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:工件 碳化硅 4H-SIC 成膜 衬底
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张泽洪
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:工件 气相沉积 碳化硅 成膜 衬底
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李哲
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:衬底 高温 均匀性 碳化硅 4H-SIC
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崔志国
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:成膜 工件 自转 热传递 气相沉积
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王劼
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:CVD设备 层流 MOCVD CVD 感应线圈
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张洪泽
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:MOCVD CVD设备 CVD 感应线圈 隔热
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曾中明
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:磁性隧道结 电极 磁性层 自旋 隧道结
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钮应喜
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:晶体质量 碳化硅 石墨烯
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