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董荣康
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供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
张保安
中国科学院上海冶金研究所上海微...
戈肖鸿
中国科学院上海冶金研究所上海微...
杨艺榕
中国科学院上海冶金研究所上海微...
沈德新
中国科学院上海冶金研究所上海微...
卢建国
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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卢建国
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 金属 热电堆 热电偶 氮化硅膜
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张保安
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:空穴 多晶硅薄膜 金属薄膜 金属 结点
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杨艺榕
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:各向异性腐蚀 镜面 微机械光开关 微机械 干法刻蚀
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沈德新
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:定子 热电堆 特性分析 微电机 压电超声马达
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戈肖鸿
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
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