您的位置： 专家智库 > >

张利斌

作品数：86 被引量：5H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

领域

  • 11个电子电信
  • 11个自动化与计算...
  • 8个文化科学
  • 8个理学
  • 7个机械工程
  • 5个电气工程
  • 5个交通运输工程
  • 5个一般工业技术
  • 4个金属学及工艺
  • 3个建筑科学
  • 3个医药卫生
  • 2个经济管理
  • 2个化学工程
  • 2个核科学技术
  • 2个农业科学
  • 1个天文地球
  • 1个矿业工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个环境科学与工...

主题

  • 10个掩模
  • 10个图像
  • 9个电路
  • 9个芯片
  • 7个等离子体
  • 7个多层膜
  • 7个掩膜
  • 7个像素
  • 6个掩模版
  • 6个衍射
  • 6个线宽
  • 5个电源
  • 5个调制
  • 5个形貌
  • 5个套刻
  • 4个单片
  • 4个单元库
  • 4个电迁移
  • 4个多层膜结构
  • 4个掩膜板

机构

  • 9个中国科学院微...
  • 3个清华大学
  • 3个中国科学院大...
  • 2个中国科学院
  • 2个中国科学院上...
  • 2个中国科学院微...
  • 1个北京大学
  • 1个国防科学技术...
  • 1个北京理工大学
  • 1个四川大学
  • 1个浙江大学
  • 1个中国科学技术...
  • 1个中国科学院研...
  • 1个杭州中科微电...
  • 1个华进半导体封...

资助

  • 11个国家自然科学...
  • 9个国家科技重大...
  • 3个北京市自然科...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个上海市自然科...
  • 2个北京市科技新...
  • 2个国际科技合作...
  • 2个国家攀登计划
  • 2个国家中长期科...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个上海市青年科...
  • 1个浙江省科技攻...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个浙江省重大科...
  • 1个“九五”国家...
  • 1个“上海－应用...

传媒

  • 7个微电子学
  • 7个微纳电子技术
  • 6个半导体技术
  • 5个光学学报
  • 4个激光与光电子...
  • 4个微纳电子与智...
  • 3个物理学报
  • 3个微电子学与计...
  • 2个光电子．激光
  • 2个红外与激光工...
  • 2个光学精密工程
  • 2个Journa...
  • 2个电子测量技术
  • 2个电子技术应用
  • 2个电子学报
  • 2个物理
  • 2个中国激光
  • 2个光子学报
  • 2个光电工程
  • 2个传感技术学报

地区

  • 9个北京市
  • 2个上海市
共 11 条 记 录，以下是 1-10
韦亚一
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 掩模 版图 光源 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董立松
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 矢量 掩模 成像模型 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何建芳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：掩模 光刻 光源 光刻工艺 仿真方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
粟雅娟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 版图 石墨烯 掺杂 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
殷华湘
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈颖
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：版图 特征向量 光刻 坏点 采样点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵利俊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：MEMS 红外 热电堆 兼容性 标准单元库
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0