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庄海涵

作品数:41 被引量:29H指数:3
供职机构:北京航天控制仪器研究所更多>>
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领域

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地区

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邢朝洋
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 微系统 MEMS 全硅 硅基
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刘福民
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:键合 电极 MEMS加速度计 晶圆 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐宇新
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:加速度计 电极 硅 MEMS加速度计 全硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁德春
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:键合 刻蚀 晶圆 刻蚀技术 芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡启方
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 全硅 MEMS 标度因数 MEMS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李新坤
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:气室 原子 碱金属 碱金属原子 脉冲激光沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘国文
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:MEMS加速度计 加速度计 电极 三明治 温度稳定性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙鹏
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:微系统 MEMS陀螺 刚挠结合板 抗振性 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王岩
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 谐振式 闭环 闭环控制系统 闭环控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘宇
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:键合 晶圆 三明治 加速度计 MEMS加速度计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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