2024年11月15日
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庄海涵
作品数:
41
被引量:29
H指数:3
供职机构:
北京航天控制仪器研究所
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发文基金:
国防基础科研计划
中国人民解放军总装备部预研基金
北京市自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
交通运输工程
航空宇航科学技术
电子电信
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合作作者
邢朝洋
北京航天控制仪器研究所
刘福民
北京航天控制仪器研究所
徐宇新
北京航天控制仪器研究所
梁德春
北京航天控制仪器研究所
胡启方
北京航天控制仪器研究所
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邢朝洋
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 微系统 MEMS 全硅 硅基
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所获资助
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刘福民
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:键合 电极 MEMS加速度计 晶圆 刻蚀
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徐宇新
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:加速度计 电极 硅 MEMS加速度计 全硅
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供职机构
所获资助
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梁德春
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:键合 刻蚀 晶圆 刻蚀技术 芯片
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相关人物
供职机构
所获资助
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胡启方
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 全硅 MEMS 标度因数 MEMS器件
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李新坤
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:气室 原子 碱金属 碱金属原子 脉冲激光沉积
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刘国文
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:MEMS加速度计 加速度计 电极 三明治 温度稳定性
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孙鹏
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:微系统 MEMS陀螺 刚挠结合板 抗振性 MEMS
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王岩
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 谐振式 闭环 闭环控制系统 闭环控制
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刘宇
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:键合 晶圆 三明治 加速度计 MEMS加速度计
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