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张文龙
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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金春水
中国科学院长春光学精密机械与物...
苗亮
中国科学院长春光学精密机械与物...
刘钰
中国科学院长春光学精密机械与物...
马冬梅
中国科学院长春光学精密机械与物...
王辉
中国科学院长春光学精密机械与物...
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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刘钰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面形检测 表面等离子体共振 面形误差 表面等离子体 非球面
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苗亮
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面形检测 非球面 面形误差 干涉仪 测量方法
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马冬梅
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 面形误差 面形检测 点衍射干涉仪 面形
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王辉
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
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张海涛
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 点衍射干涉仪 光学元件 面形误差 面形检测
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周烽
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
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于杰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 面形检测 点衍射干涉仪 面形误差 光学元件
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郭本银
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 沥青 六自由度 组件
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王丽萍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
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