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王云翔
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
龙世兵
中国科学院微电子研究所纳米加工...
李泠
中国科学院微电子研究所纳米加工...
陈宝钦
中国科学院微电子研究所纳米加工...
陆晶
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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李泠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 晶体管 电极 沟道 介质层
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陆晶
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:分辨率 移相掩模技术 移相掩模 光刻 交替式
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
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供职机构
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龙世兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
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