2024年11月15日
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傅剑宇
作品数:
57
被引量:9
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
中国石油科技创新基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
理学
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合作作者
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
殷华湘
中国科学院微电子研究所
许高博
中国科学院微电子研究所
李俊杰
中国科学院微电子研究所
王文武
中国科学院微电子研究所
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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所获资助
研究领域
殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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研究领域
许高博
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 沟道 介质层 堆叠
发表作品
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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李俊杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 沟道 纳米线 电子设备
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杨涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 晶圆
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研究领域
李永亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 半导体 晶体管 源区
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所获资助
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王文武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
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供职机构
所获资助
研究领域
欧毅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
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所获资助
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吴迪
供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题:传感器 丙酮 加热电阻 特征提取 传输时延
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