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孙文婷

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>

合作作者

领域

  • 7个自动化与计算...
  • 3个金属学及工艺
  • 3个电子电信
  • 3个文化科学
  • 2个一般工业技术
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
  • 1个机械工程
  • 1个电气工程
  • 1个医药卫生
  • 1个理学

主题

  • 8个密封
  • 8个硅片
  • 7个晶圆
  • 7个半导体
  • 6个清洗工艺
  • 6个清洗机
  • 5个导轨
  • 5个旋转轴
  • 5个占地面积
  • 5个支撑脚
  • 5个通孔
  • 5个铜互连
  • 5个自动化
  • 4个弹簧
  • 4个底面
  • 4个调平
  • 4个端面
  • 4个氧化炉
  • 4个门板
  • 4个密封结构

机构

  • 8个北京七星华创...

地区

  • 8个北京市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
赵宏宇
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐俊成
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 密封 支撑脚 机械手 导轨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高浩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：导轨 机械手 密封 硅片 存取
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李广义
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：支撑脚 机械手 螺母 晶圆 占地面积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张豹
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴立坤
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 机械手 补液 晶圆 模块化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李伟
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：出口 二相流 卡盘 硅片 液体流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
初国超
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：储液罐 超微 超纯水 雾化液 雾化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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