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李伟

作品数：47 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学金属学及工艺自动化与计算机技术天文地球更多>>

合作作者

领域

  • 9个自动化与计算...
  • 7个金属学及工艺
  • 7个电子电信
  • 4个电气工程
  • 4个医药卫生
  • 4个一般工业技术
  • 3个机械工程
  • 3个文化科学
  • 2个经济管理
  • 2个天文地球
  • 2个石油与天然气...
  • 1个生物学
  • 1个化学工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个理学

主题

  • 11个污染
  • 11个硅片
  • 8个气体
  • 8个清洗工艺
  • 7个旋转轴
  • 7个声波
  • 6个单片
  • 6个底面
  • 6个湿法
  • 5个单晶
  • 5个单晶圆
  • 5个导轨
  • 5个电路
  • 5个端面
  • 5个声波换能器
  • 4个电气柜
  • 4个调压阀
  • 4个旋转体
  • 4个占地面积
  • 4个支撑脚

机构

  • 13个北京七星华创...
  • 1个河北工业大学

资助

  • 3个国家科技重大...
  • 1个国家自然科学...
  • 1个天津市自然科...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家中长期科...
  • 1个河北省教育厅...
  • 1个河北省自然科...

传媒

  • 3个半导体技术
  • 2个电子工业专用...
  • 1个稀有金属材料...
  • 1个化工学报
  • 1个功能材料
  • 1个河北科技大学...
  • 1个微纳电子技术
  • 1个电子设计工程

地区

  • 13个北京市
共 13 条 记 录，以下是 1-10
王浩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：卡盘 薄片 夹紧 卡爪 气体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张豹
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：卡盘 夹持 硅片 晶片 机械手
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴仪
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
滕宇
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 二相流 石英 出口 超声波
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姬丹丹
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 卡盘 夹持 晶片 种盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王波雷
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 硅片清洗 夹持 旋转轴 卡盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张享倩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：出口 硅片清洗 污染空气 污染程度 自清洗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高浩
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：导轨 机械手 密封 硅片 存取
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐俊成
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：硅片 密封 支撑脚 机械手 导轨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宏宇
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 机械手 支撑脚 占地面积 半导体工艺设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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