2024年11月15日
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郭本银
作品数:
71
被引量:10
H指数:2
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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合作作者
金春水
中国科学院长春光学精密机械与物...
王丽萍
中国科学院长春光学精密机械与物...
谢耀
中国科学院长春光学精密机械与物...
周烽
中国科学院长春光学精密机械与物...
王辉
中国科学院长春光学精密机械与物...
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金春水
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
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王丽萍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
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周烽
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
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谢耀
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 极紫外光刻 极紫外 掩模
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王辉
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 面形 六自由度 复现性 面形检测
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张海涛
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 点衍射干涉仪 光学元件 面形误差 面形检测
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苗亮
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面形检测 非球面 面形误差 干涉仪 测量方法
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王君
供职机构:中国科学院
研究主题:极紫外光刻 掩模 光学系统 极紫外 多层膜
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刘钰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面形检测 表面等离子体共振 面形误差 表面等离子体 非球面
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于杰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:干涉仪 面形检测 点衍射干涉仪 面形误差 光学元件
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