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薛丽君

作品数：12 被引量：15H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室更多>>
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刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
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汤跃科
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 微光刻技术 电子束直写 CIF格式 光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金儒
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 CIF格式 电子束直写 微光刻技术 CIF
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王德强
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：X射线光刻 波带片 X射线 电子束 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张立辉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束直写 单电子晶体管 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任黎明
供职机构：北京大学
研究主题：石墨烯 金属 纳电子学 电子束曝光 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束直写 电子束光刻 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龙世兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王燕
供职机构：清华大学
研究主题：注射针头 经皮给药 微针 控制部件 注射器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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